V10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，V10FC也同样适用。 V10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。 产品应用 产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。
V10FC-R直接热式控制器
产品特点 ● 直接热式原理，无层流元件 ● 无压损,抗结晶,抗腐蚀 ● 适用于各种低压和高压管道 ● **测量和控制气体的质量流量 ● 预热时间短,零漂小，可靠性高 ● 多种气体可选,也可自行输入
技术参数
技术指标
V10FC-RC质量流量控制器
V10FC-RM质量流量控制器
量程范围
小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
控制范围
控制器20：1
流量计20：1
准 确 度
流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃
线 性
±0.5%F.S
重复精度
±0.2%F.S
响应时间
100ms
10ms
数 字 量
RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量
0～5V、4～20mA、1～5V
供电
12V/24V/±15V可选
工作温度
0～50℃
工作压力
工作压差：0.03～0.5MPa
工作压降：<0.01Mpa
*大耐压
低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa
电气连接
DB15孔
漏 率
1×10-9SCCSHe
温度系数
±0.015%F.S/℃
底座材质
316L
密封材料
氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头
VCR1/4;swagelokφ6
京公网安备 11011502003169号
